您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
用于制造微结构组件的方法、微结构组件和X射线设备
- 专利权人:
- 西门子医疗保健有限责任公司
- 发明人:
- 安德烈埃·德乌廷格,约尔格·察普夫
- 申请号：
- CN201910149960.7
- 公开号：
- CN110200647A
- 申请日:
- 2019.28.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及用于制造微结构组件(4)的方法、微结构组件(4)和X射线设备(1)。将多个点状的孕育结构(22)以沿着第一基板方向和垂直于此的第二基板方向(S1,S2)预设的网格(28)引入到片状的硅基板(26)的第一表面(23)中,并且在第一刻蚀步骤(40)中将孕育结构(22)沿硅基板(26)的深度方向(10)延长成钻孔。在第二刻蚀步骤(50)中至少部分地移除硅基板(26)的第二表面(52)以在后侧打开钻孔并且在第三刻蚀步骤(60)中将各向异性作用的刻蚀介质交替地从硅基板的两个表面(24,52)起冲洗穿过钻孔,使得沿第一基板方向(S1)依次设置的钻孔连接成沿第一基板方向(S1)伸展的狭缝。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
