To appropriately regulate a distance between a filter and a heat sink.SOLUTION: The adsorption unit comprises a filter formed in a plate shape, a heat radiation plate arranged so as to be opposed to a part of the filter, a part of the filter is heated via the heat radiation plate by heating the heat radiation plate A drive unit for moving the filter with respect to the heat radiation plate, and a case for covering the heat radiation plate to form a heating space. At least one of the outer peripheral portion and the inner peripheral portion of the filter is provided with a cover covering the edge portion of the filter. At least one of the cover, the heat sink and the case is provided with position regulating means for regulating the distance between the filter and the heat sink in the thickness direction of the filter.(FIG.【課題】フィルタと放熱板との間隔を適正に規制する。【解決手段】吸着ユニットは、板状に形成されるフィルタと、フィルタの一部に対向して配置される放熱板と、放熱板を加熱することにより放熱板を介してフィルタの一部を加熱するヒータと、放熱板に対してフィルタを移動させる駆動部と、放熱板を覆って加熱空間を形成するケースと、を備える。フィルタの外周部及び内周部の少なくとも一方には、フィルタの縁部を覆うカバーが設けられる。カバー、放熱板及びケースの少なくとも1つには、フィルタの厚み方向におけるフィルタと放熱板との間隔を規制する位置規制手段が設けられる。【選択図】図12
