The high-frequency control unit according to the present invention is provided with an integrated-value calculation part for calculating, over time, a measured integrated value which is the measured value of an integrated value from the output start time of an outputted high-frequency electric power. The high-frequency control unit is provided with a target trajectory setting part for setting a target trajectory indicating, over time, a target integrated value which is a target value of the integrated value from the output start time of the outputted high-frequency electric power, and a control part for comparing, over time, the measured integrated value with the target trajectory and controlling, over time, the output state of the high-frequency electric power on the basis of the comparison result.Lunité de commande à haute fréquence selon la présente invention comprend une partie de calcul de valeur intégrée pour calculer, dans le temps, une valeur intégrée mesurée qui est la valeur mesurée dune valeur intégrée depuis le temps de début de sortie dune sortie de courant électrique à haute fréquence. Lunité de commande à haute fréquence comprend une partie de réglage de trajectoire cible pour régler une trajectoire cible indiquant, dans le temps, une valeur intégrée cible qui est une valeur cible de la valeur intégrée depuis le temps de début de sortie de la sortie de courant électrique à haute fréquence, et une partie de commande pour comparer, dans le temps, la valeur intégrée mesurée avec la trajectoire cible et commander, dans le temps, létat de sortie du courant électrique à haute fréquence sur la base du résultat de comparaison.高周波制御ユニットは、出力された高周波電力の出力開始時からの積算値の実測値である実測積算値を経時的に算出する積算値算出部を備える。前記高周波制御ユニットは、出力された前記高周波電力の前記出力開始時からの前記積算値の目標値である目標積算値を経時的に示す目標軌跡を設定する目標軌跡設定部と、前記目標軌跡に対して前記実測積算値を経時的に比較し、比較結果に基づいて、前記高周波電力の出力状態を経時的に制御する制御部と、を備える。
