用于激光处理靶材料的激光装置以及方法
- 专利权人:
- 诺华股份有限公司
- 发明人:
- K·沃格勒,O·柯特泰耳曼
- 申请号：
- CN201380067719.0
- 公开号：
- CN105103391B
- 申请日:
- 2013.27.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 在一个实施方案中,一种激光装置包括:半导体激光器(22),例如VECSEL型的,其用于产生具有飞秒范围内或更短的脉冲持续时间并具有至少100MHz的脉冲重复率的脉冲激光辐射;选择器(54),其用于从所述激光辐射中选择脉冲群(60),每个脉冲群包括在所述脉冲重复率下的多个脉冲,其中所述脉冲群被时移至少500ns;扫描器设备,其用于扫描所述激光辐射的焦点;控制器,其用于基于控制程序控制所述扫描器设备,所述控制程序包括指令,当由所述控制器执行时,所述指令使得针对每个脉冲群在靶材料中例如人眼组织中形成基于LIOB的光致破裂。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
