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一种喷雾器及其基片处理系统
- 专利权人:
- 上海思恩电子技术有限公司
- 发明人:
- 倪党生,孙义荣,毛明兴,张仪晨
- 申请号：
- CN201520065255.6
- 公开号：
- CN204564389U
- 申请日:
- 2015.01.29
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 邓琪`宋丽荣
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种喷雾器，包括：储存有待雾化的液体的储液腔体，内部设置有储液腔体加热管；通过输液组件与储液腔体连通的雾化腔体，具有底壁，输液组件包括吸液管和调节杆，调节杆固定于底壁，其顶部具有中空的混合区域，待雾化的液体通过吸液管进入混合区域；底壁具有气体通道，气体通过气体通道进入混合区域；在混合区域中，待雾化的液体在气体的作用下发生雾化后进入雾化腔体。本实用新型还涉及一种基片处理系统，包括至少一个上述的喷雾器。本实用新型中的气体通过气体通道进入调节杆顶部的混合区域，产生局部真空，迫使待雾化的液体顺利地通过吸液管进入混合区域中，使得液体和气体进行剧烈碰撞形成雾状液体，提高喷雾器的雾化量。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
