PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adsorption cell capable of preventing the occurrence of fine dust particles and preventing secondary contamination.SOLUTION: The adsorption cell includes a first adsorption layer 110 formed of a first adsorbing agent, and a second adsorption layer 120 formed of a second adsorbing agent higher in density than the first adsorbing agent and coated on the surface of the first adsorption layer to prevent the occurrence of dust particles from the first adsorption layer. The adsorption cell is obtained by coating the second adsorption layer formed of the high density adsorbing agent on the upper surface of the first adsorption layer.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】微細粉塵粒子の発生を防止し、2次汚染を防止できる吸着セルを提供する。【解決手段】吸着セルは、第1吸着剤で形成された第1吸着層110、及び第1吸着剤よりも密度の高い第2吸着剤で形成され、第1吸着層から粉塵粒子が発生することを防止するように、第1吸着層の表面にコーティングされた第2吸着層120とを含み、第1吸着層の上面に高密度吸着剤で形成された第2吸着層をコーティングすることによって得られる。【選択図】図3
