The present invention is a sterile chamber A vacuum pump that is connected to one side of the sterilization chamber Carburetor connected to the other side of the sterilization chamber And one end is connected to the carburetor, the other end can be used relates to a sterilization method using the sterilization apparatus and comprising a collector connected to the sterilization chamber, through each step concentration process, more than 95% by weight aqueous hydrogen peroxide sterilizing agent and, therefore, greatly improving the sterilization effect to be there.본 발명은 멸균챔버 상기 멸균챔버의 일측에 연결되는 진공펌프 상기 멸균챔버의 다른 일측에 연결되는 기화기 및 일측은 상기 기화기와 연결되고, 타측은 상기 멸균챔버와 연결되는 수집기를 포함하는 멸균장치 및 이를 이용한 멸균방법에 관한 것으로, 각 단계별 농축과정을 통하여, 95중량% 이상의 과산화수소수를 멸균제로 사용할 수 있으며, 따라서, 멸균효과를 크게 향상시킬 수 있다.
