Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.;Karlsruher Institut für Technologie
发明人:
Mathias Ziebarth,Thomas Stephan,Jan Burke
申请号：
DE102017203390
公开号：
DE102017203390B4
申请日:
2017.03.02
申请国别(地区):
DE
年份:
2019
代理人:
摘要：
Deflektometer (100), zur Topografiebestimmung eines Objekts (120), mit folgenden Merkmalen:einer Anzeige (110), die ausgelegt ist, um ein Referenzmuster (200, 300, 400, 500) wiederzugeben,wobei das Referenzmuster (200, 300, 400, 500) eine erste Mehrzahl von Spiralen aufweist und eine zweite Mehrzahl von Spiralen aufweist, wobei eine Wicklungsrichtung (2101, 3101) der ersten Mehrzahl von Spiralen entgegengesetzt zu einer Wicklungsrichtung (220j, 320j) der zweiten Mehrzahl von Spiralen ist,wobei das Deflektometer (100) ausgelegt ist, basierend auf einer Reflektion des Referenzmusters an dem Objekt (120) eine topografische Information über das Objekt (120) bereitzustellen,wobei das Deflektometer (100) ausgelegt ist, das Referenzmuster (200, 300, 400, 500) rotierend auf der Anzeige (110) wiederzugeben,wobei das Deflektometer (100) ausgelegt ist, basierend auf der rotierten Wiedergabe Aufnahmen der Reflektionen des rotierten Referenzmusters (200, 300, 400, 500) zu erhalten,wobei das Deflektometer (100) ausgelegt ist, die Topografiebestimmung anhand von Phaseninformationen durchzuführen,wobei das Deflektometer (100) ausgelegt ist, die Phaseninformationen basierend auf den Aufnahmen der Reflektionen des rotierten Referenzmusters (200, 300, 400, 500) zu erhalten, undwobei das Deflektometer (100) ausgelegt ist, die Phaseninformationen basierend auf einer diskreten Fouriertransformation der Aufnahmen der Reflektionen des rotierten Referenzmusters zu erhalten.Deflectometer (100), for determining the topography of an object (120), having the following features: a display (110) which is designed to display a reference pattern (200, 300, 400, 500), the reference pattern (200, 300, 400 , 500) has a first plurality of spirals and a second plurality of spirals, wherein a winding direction (2101, 3101) of the first plurality of spirals is opposite to a winding direction (220j, 320j) of the second plurality of spirals, the deflectometer ( 100) is designed to provide to
