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ガス採取装置およびガス採取方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
FUKUI HISAFUMI,福井 寿文
申请号:
JP2011056807
公开号:
JP2012193993A
申请日:
2011.03.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device which samples gas generated from a gas generation source while preventing external gas from coming to be mixed therein.SOLUTION: A gas sampling device has a sampling container which samples gas released from a portion of a specimen contained therein in a state where only the portion of the specimen is contained in the container through a reception port while the other portion of the specimen is not contained in the container. The gas sampling device also has an outer container which stores the sampling container therein and is provided with a supply port to supply a fluidized substance between the sampling container and the outer container.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】 ガス発生源から発生するガスを、外からのガスが混入することを防ぎつつ採取する装置を提供する。【解決手段】 収容口から試料の一部を収容し、前記試料の他の部は収容しない状態で、収容している前記試料の一部から放出されたガスを採取する採取容器を有するガス採取装置において、前記採取容器を収容する外容器を有し、前記外容器は、前記採取容器と前記外容器と間に流動物質を供給するための供給口を有することを特徴とするガス採取装置を提供する。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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