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ガス採取測定装置及びガス採取測定方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
KOIDE FUMIYO,小出 史代,IKEDA TAKASHI,池田 貴司
申请号:
JP2011058815
公开号:
JP2012194088A
申请日:
2011.03.17
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for very easily sampling and measuring gas discharged from the surface of a sample without burdening any load on the sample.SOLUTION: An apparatus for measuring a concentration of a measuring object component contained in gas discharged from a sample to the gas comprises: a container covering a part of the sample a flow channel for supplying a carrier gas which contains or does not contain a marker component of a prescribed concentration and in which concentrations of contained components are known means for supplying the carrier gas of a prescribed supply volume concentration measuring means for measuring the concentration of the measuring object component to a mixed gas of the carrier gas in the container and the gas discharged from the sample and the concentration of the marker component and concentration calculation means for calculating the concentration of the measuring object component from the value of the supply volume of the carrier gas, the concentration of the measuring object component in the carrier gas and the concentration of the marker component, and measured concentration values of the measuring object component in the container and the marker component measured by the concentration measuring means.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】試料に負担をかけることなく、かつ極めて簡便に、試料表面から放出されるガスを精度高く採取および測定する装置を提供する。【解決手段】試料から放出されるガスに含まれる測定対象成分の該ガスに対する濃度を測定する測定装置であって、試料の一部を覆う容器と、既定濃度のマーカー成分を含みあるいは含まず、かつ含まれる成分の濃度が既知であるキャリアガスを容器に供給する流路と、既定の供給体積のキャリアガスを供給する手段と、容器内のキャリアガスと試料から放出されるガスとの混合ガスに対する測定対象成分の濃度およびマーカー成分の濃度を測定する濃度測定手段と、キャリアガスの供給体積値と、キャリアガス中の測定対象成分の濃度およびマーカー成分の濃度と、濃度測定手段により測定される容器内の測定対象成分およびマーカー成分の濃度の測定値とから測定対象成分の濃度を算出する濃度算出手段とを有する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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