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Piezoelectric element, piezoelectric actuator, hard disk drive, inkjet printer device, and piezoelectric sensor
专利权人:
TDK株式会社;TDK株式会社
发明人:
會田 康弘,倉知 克行,佐久間 仁志,前島 和彦
申请号:
JP2015502971
公开号:
JP2015530728A
申请日:
2013.07.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
The piezoelectric element (100) according to the present invention includes a pair of electrode films (8, 12), a piezoelectric film (10) sandwiched between the pair of electrode films (8, 12), and a pair of electrode films. A linear expansion coefficient greater than the linear expansion coefficient of the electrode film (12) and the piezoelectric film (10), which is in direct contact with the surface of at least one (12) on the side where the electrode film (12) does not contact the piezoelectric film (10). And a stress control film (14) having [Selection] Figure 3本発明に係る圧電素子(100)には、一対の電極膜(8、12)と、一対の電極膜(8、12)の間に挟まれた圧電膜(10)と、一対の電極膜の少なくとも一方(12)の表面に、電極膜(12)が圧電膜(10)に接しない側で直接接する、当該電極膜(12)および圧電膜(10)の線膨張率よりも大きい線膨張率を有する応力制御膜(14)と、が設けられる。【選択図】図3
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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