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MEMS型水听器的自噪声分析

作   者:
方尔正洪连进杨德森
作者机构:
哈尔滨工程大学水声技术重点实验室
关键词:
水听器自噪声噪声测量微机械系统
期刊名称:
哈尔滨工程大学学报
基金项目:
关于几类随机流体力学的动力学行为的研究
i s s n:
1006-7043
年卷期:
2014 年 03 期
页   码:
23-26
摘   要:
针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象,以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自噪声的主要因素,给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械Q值之间的关系。将典型水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对比,仿真分析结果表明,工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任务,用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40 ng以下的自噪声才能达到系统要求。
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