KLA-Tencor推出叠对计量Archer AIM+系统

• 全文链接
• 请求原文

关键词：

控制要求;  能力提高;  加工生产;  测量不确定性;  光刻;  加工平台;  IM系统;  制造商;  KLA-Tencor公司;  推出;  计量; 

期刊名称：

电子测试(新电子)

i s s n：

年卷期：

2005 年 000 卷 007 期

页   码：

92

摘   要：

KLA-Tencor公司日前推出新的叠对计量Archer AIM+系统.该系统能够满足芯片制造商对65纳米节点以下的光刻叠对控制要求.Archer AIM+基于Archer加工平台,与KLA-Tencor的上一代Archer AIM系统相比,总的测量不确定性(TMU)降低了50％,加工生产能力提高了20％.